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    真空鍍—完美的表面處理工藝 發(fā)表時間:2020-04-09

      真空鍍又稱真空鍍金、真空鍍膜,指的是利用物理過程實現(xiàn)物質轉移,將原子或分子由源轉移到基材表面上的過程。它的作用是可以使一些有特殊性能(強度高、耐磨性、散熱性、耐腐性等)的微粒噴涂在性能較低的基材上,使得材料具有更好的性能。 真空鍍的基本方法分為真空蒸發(fā)和離子鍍其中離子鍍分為:空心陰極離子鍍、熱陰極離子鍍、電弧離子鍍、活性反應離子鍍、射頻離子鍍、直流放電離子鍍。

      真空鍍簡稱PVD是英文Physical Vapor Deposition(物理氣相沉積)的縮寫,是指在真空條件下,采用低電壓、大電流的電弧放電技術,利用氣體放電使靶材蒸發(fā)并使被蒸發(fā)物質與氣體都發(fā)生電離,利用電場的加速作用,使被蒸發(fā)物質及其反應產(chǎn)物沉積在工件上。

      增強型磁控陰極弧:陰極弧技術是在真空條件下,通過低電壓和高電流將靶材離化成離子狀態(tài),從而完成薄膜材料的沉積。增強型磁控陰極弧利用電磁場的共同作用,將靶材表面的電弧加以有效地控制,使材料的離化率更高,薄膜性能更加優(yōu)異。

      過濾陰極?。哼^濾陰極電弧(FCA )配有高效的電磁過濾系統(tǒng),可將離子源產(chǎn)生的等離子體中的宏觀粒子、離子團過濾干凈,經(jīng)過磁過濾后沉積粒子的離化率為100%,并且可以過濾掉大顆粒,因此制備的薄膜非常致密和平整光滑,具有抗腐蝕性能好,與機體的結合力很強。

      磁控濺射:在真空環(huán)境下,通過電壓和磁場的共同作用,以被離化的惰性氣體離子對靶材進行轟擊,致使靶材以離子、原子或分子的形式被彈出并沉積在基件上形成薄膜。根據(jù)使用的電離電源的不同,導體和非導體材料均可作為靶材被濺射。

      離子束DLC:碳氫氣體在離子源中被離化成等離子體,在電磁場的共同作用下,離子源釋放出碳離子。離子束能量通過調整加在等離子體上的電壓來控制。碳氫離子束被引到基片上,沉積速度與離子電流密度成正比。星弧涂層的離子束源采用高電壓,因而離子能量更大,使得薄膜與基片結合力很好;離子電流更大,使得DLC膜的沉積速度更快。離子束技術的主要優(yōu)點在于可沉積超薄及多層結構,工藝控制精度可達幾個埃,并可將工藝過程中的顆料污染所帶來的缺陷降至最小。

      其中應用最為廣泛的真空鍍工藝就是磁控濺射,表面不僅光滑耐磨而且環(huán)保容易操作,青島地區(qū)真空鍍做的比較全面的比較專業(yè)的青島大東電子,大家有機會可以去學習參觀,先進的設備跟工藝帶來科技改變工業(yè)的震撼。

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